也可測量軟質材料表面;可以得到較高的測量速度;可用于復雜曲面、日本HD橫向運動諧波SHF-25-80-2SO內表面、溝槽和窄小表面的測量，亦可方便地得到多種粗糙度參數值。其不足之處是分辨力受到光針焦點光斑直徑〔1一2}em)的限制·
C2)針描法測量的幾項有關問題
1)測量基準的實現針描法日本HD橫向運動諧波SHF-25-80-2SO測量基準有兩類:基準和相對基準。
采用基準的針描法中，探針橫向運動軌跡是外部提供的理想基準輪廓，如探針運動導軌、導向玻璃平面或曲面等。由于基準誤差將直接帶入測量結果之中，因而基準本身應具有十分高的精度。日本HD橫向運動諧波SHF-25-80-2SO這種方法中探針所測得的結果將包括形狀誤差、表面波紋度和表面粗糙度在內的全部輪廓不平度。