關于哈默納科伺服驅動器HA-800A-6D-100

既是化學反應，故免不了「質量傳輸」與「化學反應」兩部份機制     關于哈默納科伺服驅動器HA-800A-6D-100。由于化學反應隨溫度呈指數函數之變化，故當高溫時，迅速完成化學反應。換言之，整體沉積速率卡在質量傳輸(diffusion-limited)；而此部份事實上隨溫度之變化，不像化學反應般。harmonic質量傳輸諧波CSF-11-50-2XH-F所以對于化學氣相沉積來說，，提高制程溫度，容易掌握沉積的速率或制程之重復性。

然而高制程溫度有幾項缺點：?高溫制程環境所需電力成本較高。

高溫成長之薄膜，冷卻至常溫后，會產生因各基板與薄膜間熱脹縮程度不同之殘留應力(residualstress)。

所以，低制程溫度仍是化學氣相沉積追求的目標之一     關于哈默納科伺服驅動器HA-800A-6D-100，惟如此一來，在制程技術上面臨之問 題及難度也跟著提高。