| 品牌 | BROOKS | 型號 | 5850E |
| 類型 | 差壓式流量計 | 測量范圍 | 5（m3/h） |
| 等級 | 1 | 公稱通徑 | 6（mm） |
| 適用介質(zhì) | 任何氣體 | 工作壓力 | 10（MPa） |
| 工作溫度 | 65（℃） |
SLA5861 /5860/ 5853/5850/ 5850流量計
數(shù)模橡膠密封;
流量范圍:100-2500 slpm;
:±1.0% of rate(20%-100% FS);
±0.2% FS(<20% FS);,
±1.0%F.S.(>1100 slpm)
5861E質(zhì)量流量計
5863E質(zhì)量流量計
5853E質(zhì)量流量控制器
5851E質(zhì)量流量控制器
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MF61i_IP66質(zhì)量流量計
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MKS M330B質(zhì)量流量控制器
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UFC-8260質(zhì)量流量計控制器
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UFC-9660質(zhì)量流量計控制器