KY 電容膜片真空計
CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴
CDG025D-X3 0.1 ...1000 乇/毫巴

CDG045D 0.05 ...1000 乇/毫巴
CDG100D 0.1 ... 1000乇/毫巴

CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴

SKY 電容膜片真空計
CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴

SKY 電容膜片真空計
CDG045D 0.05 ...1000 乇/毫巴

INFICON SKY CDG045D 真空計是用于高精度總壓強測量和控制的選擇.為實
現的訊號穩定性和再現性, CDG045D 真空計是在 45°C 下溫度控制的. 可供應
的真空計包括全量程范圍從 50 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號和現場
總線接口和提供線性 0 至 10 V, 與氣體類型無關的壓強訊號. INFICON 電容真空計
采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片. 陶瓷傳感器的優勢是更好的訊號穩定性, 快速
地從大氣壓恢復, 短的預熱時間和超長的使用壽命. INFICON CDG 是高質量, 高效
益的壓強傳感器用于高要求的真空應用 .
優勢
擁有成本低, 預熱快 50%, 能效高, 低功耗
易集成,規格齊全的 全量程, 法蘭和接口 , 標準型號有
兩個設點
簡易的一鍵按鈕或運距訊號調零指令,零點偏移可調整
診斷口用于快速服務和維護
兩年保用期,帶有先進的加熱概念和真空計保護的長
使用壽命
由于的訊號穩定性和再現性, 即使在嚴酷的等離子
應用中也無長期再校準的需要
兼容性和標準: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
應用
刻蝕, CVD, PVD 和其它半導體過程
化學和腐蝕性的真空過程
一般薄膜和真空過程
參考傳感器用于按國際標準監測測試儀器
傳遞標準用于可追蹤的測量