性能
泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為
壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為10
8～10
9；對氫為10
2～10
4；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于10
10。
泵的極限壓力為10
-9Pa，工作壓力范圍為10
-1～10
-8Pa，
抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10
-3m
3）。
渦輪分子泵必須在分子流狀態（氣體分子的平均自由程遠大于導管截面尺寸的流態）下工作才能顯示出它的優越性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級真空泵。
特點
抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單
工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空
極限真空：10-6/ 10-10torr
缺點：結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高
