KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射制備堵片傳感器薄膜
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時間:2021-01-06 15:46:28  訪問次數(shù):77

    為了使堵片傳感器的靈敏度分辨率、測量范圍小、測量精度等得到提高可實現(xiàn)對堵片打開信號的可靠、穩(wěn)定測量滿足航天飛行器發(fā)動機控制系統(tǒng)信號測試需要某堵片傳感器制造商采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射制備堵片傳感器薄膜.

     

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術參數(shù):

    離子源型號

    RFICP220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦,  平行,  散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    30 cm

    直徑

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

    可選燈絲中和器可變長度的增量

    KRI 射頻離子源 RFICP 220

     

    KRI 離子源的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現(xiàn)的.

     

    KRI 離子源是領域公認的領導者已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業(yè)標準的過程中.

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質(zhì)譜儀,  真空計,  美國 KRI 考夫曼離子源,  美國HVA 真空閥門,  美國 inTEST 高低溫沖擊測試機,  美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

     

    若您需要進一步的了解詳細信息或討論,  請參考以下聯(lián)絡方式:

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