hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 用于多晶黑硅損傷去除與鈍化性能研究
    發(fā)布者:bdqysh  發(fā)布時(shí)間:2020-12-11 16:07:26  訪問次數(shù):82

    南京某材料科學(xué)學(xué)院結(jié)合 SiO2 納米球掩膜與立柱刻蝕技術(shù)制備了結(jié)構(gòu)呈周期性排列的多晶黑硅利用 hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 去除由荷能離子撞擊所帶來的損失層優(yōu)化了多晶黑硅結(jié)構(gòu).

     

    Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 技術(shù)參數(shù):

    基板尺寸

    < Ф8 X 1wfr

    樣品臺(tái)

    直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉(zhuǎn)

    離子源

    16cm 考夫曼離子源

    均勻性

    ±5% for 4”Ф

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    溫度

    <100

     

    Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE  離子源是配伯東公司代理美國考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

     

    伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC160 技術(shù)參數(shù):

     離子源型號(hào)

     離子源 KDC 160 

    Discharge

    DC 熱離子

    離子束流

    >650 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    16 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    2-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    中和器

    燈絲

     

    Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.

     

    采用 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 10IBE 可以去除損傷層保持原有黑硅結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上使表面結(jié)構(gòu)更加光滑.

     

    若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
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    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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