hakuto 離子刻蝕機 10IBE 用于多晶黑硅損傷去除與鈍化性能研究
    發布者:bdqysh  發布時間:2020-12-11 16:07:26  訪問次數:82

    南京某材料科學學院結合 SiO2 納米球掩膜與立柱刻蝕技術制備了結構呈周期性排列的多晶黑硅利用 hakuto 離子刻蝕機 10IBE 去除由荷能離子撞擊所帶來的損失層優化了多晶黑硅結構.

     

    Hakuto 離子蝕刻機 10IBE 技術參數:

    基板尺寸

    < Ф8 X 1wfr

    樣品臺

    直接冷卻(水冷)0-90 度旋轉

    離子源

    16cm 考夫曼離子源

    均勻性

    ±5% for 4”Ф

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    溫度

    <100

     

    Hakuto 離子刻蝕機 10IBE  離子源是配伯東公司代理美國考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 160

     

    伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC160 技術參數:

     離子源型號

     離子源 KDC 160 

    Discharge

    DC 熱離子

    離子束流

    >650 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    16 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    2-30 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    中和器

    燈絲

     

    Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 真空腔采用 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.

     

    采用 Hakuto 離子刻蝕機 10IBE 可以去除損傷層保持原有黑硅結構的基礎上使表面結構更加光滑.

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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