Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 用于光學器件精密加工
    發布者:bdqysh  發布時間:2020-12-04 16:17:57  訪問次數:80

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  用于光學器件精密加工


    某光學器件制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應用于光學器件精密加工通過蝕刻工藝提高光學器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數

    Φ4 inch X 12

    基片尺寸

    Φ4 inch X 12

    Φ5 inch X 10

    Φ6 inch X 8

    均勻性

    ±5%

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    樣品臺

    直接冷卻,水冷

    離子源

    Φ20cm 考夫曼離子源

     

    Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

    離子源型號

    RFICP 220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    中和器

    LFN 2000

     

    采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  可以使 PV、RMS分別為1.347μm340nm的粗糙表面, 通過蝕刻其粗糙度可降低至75nm13nm; PV、RMS分別為61nm8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm1nm. 刻蝕工藝能有效提高光學器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權所有翻拷必究!

    免責聲明:線纜網轉載作品均注明出處,本網未注明出處和轉載的,是出于傳遞更多信息之目的,并不意味 著贊同其觀點或證實其內容的真實性。如轉載作品侵犯作者署名權,或有其他諸如版權、肖像權、知識產權等方面的傷害,并非本網故意為之,在接到相關權利人通知后將立即加以更正。聯系電話:0571-87774297。
0571-87774297  
主站蜘蛛池模板: 久久久精品人妻一区二区三区| 晚上看b站直播软件| 国产精品成年片在线观看| 一个人看日本www| 无码专区久久综合久中文字幕| 亚洲国产日韩a在线播放| 综合久久99久久99播放| 国产特级毛片aaaaaa| 91精品国产综合久久香蕉| 成年人在线免费观看网站 | 午夜a级成人免费毛片| 国产卡一卡二卡3卡4乱码| 国产精品9999久久久久仙踪林| 国产欧美综合一区二区三区| 国产人伦视频在线观看| 亚洲高清在线mv| 亚洲欧美另类视频| 亚洲av无码专区在线播放| 久久午夜夜伦鲁鲁片无码免费| 一边摸一边叫床一边爽| 中文字幕乱码中文乱码51精品| 一级做a爱片特黄在线观看yy| 欧美日本免费观看αv片| 人妻被按摩师玩弄到潮喷| 跳d放在里面逛超市的视频| 国产精品视频全国免费观看| 一女被两男吃奶玩乳尖| 日韩三级免费看| 亚洲成a人片在线观看中文| 精品无码中出一区二区| 国产成人av一区二区三区在线| 99re6在线| 性做久久久久久蜜桃花| 丰满人妻一区二区三区视频| 欧美一级片在线观看| 亚洲综合在线一区二区三区| 美女扒开胸罩摸双乳动图| 国产一区二区女内射| 色综合久久综合欧美综合图片| 国产欧美一区二区三区免费| 91视频综合网|