Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 用于光學器件精密加工
    發布者:bdqysh  發布時間:2020-12-04 16:17:57  訪問次數:80

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  用于光學器件精密加工


    某光學器件制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應用于光學器件精密加工通過蝕刻工藝提高光學器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

    Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數

    Φ4 inch X 12

    基片尺寸

    Φ4 inch X 12

    Φ5 inch X 10

    Φ6 inch X 8

    均勻性

    ±5%

    硅片刻蝕率

    20 nm/min

    樣品臺

    直接冷卻,水冷

    離子源

    Φ20cm 考夫曼離子源

     

    Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

    伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

    離子源型號

    RFICP 220

    Discharge

    RFICP 射頻

    離子束流

    >800 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    20 cm Φ

    離子束

    聚焦平行散射

    流量

    10-40 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    中和器

    LFN 2000

     

    采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  可以使 PVRMS分別為1.347μm340nm的粗糙表面, 通過蝕刻其粗糙度可降低至75nm13nm; PVRMS分別為61nm8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm1nm. 刻蝕工藝能有效提高光學器件聚酰亞胺薄膜的表面光潔度.

     

    若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

    上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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