液壓系統監測及診斷裝置即為故障診斷，故障診斷可分為便攜式簡易診斷和在線精密診斷兩大類別。液壓泵故障的預兆主要參數是壓力降低，流量減少，溫度上升，變量速度超時，噪音上升與振動增大，泵內泄漏量超標等。檢測不同參數時，應根據液壓泵所反映出來的實際狀況，現場條件和精度要求的差異。液壓泵故障診斷器的原理是通過振動診斷法進行檢測，經微型計算機分析處理并做出故障預報。可以較快的從泵的外部直接檢測出泵內部磨損情況，從而有效地防止了泵的故障發生，提高了主機的可靠性。  
       泵檢測還可以采用液壓測試儀檢測泵的總效率。液壓測試儀是由流量，壓力表和溫度計所組成，可聯接到泵的排口，通過調節儀器的各項功能檢測出泵排口在各級壓力下的流量，繪制出泵總效率曲線圖。
       測試儀與泵泄油口聯接檢測泵內泄量。泵的泄漏量是隨在線使用時間而變化的，在固定的周期時間內，測出泄漏量的變化就可相應得知泵影響系統能否正常工作的運行狀態變化，將泄漏量隨時間變化的曲線稱為狀態曲線，作為泵工作狀態的評定指標，可用以進行故障預報和維修期的確定。
      大型液壓站都是由多臺柱塞泵組成的液壓系統并配有配套的大型蓄能器組， 如果其中有一臺泵內泄漏量大或達不到工作壓力時，對整個液壓系統壓力及流量危害不能立即顯現出來，點檢人員必須每日對工作的泵查看電流表上的電流值并做出記錄。如果泵群組其中的一臺泵工作壓力比另外的泵工作壓力低時，壓力低的泵在電流表上顯示比正常工作的泵電流值低，即少做功的泵比正常做功的泵需用的電流低。
       液壓柱塞泵內泄漏量大，泵內的摩擦副間隙增大造成壓力油泄漏，泄漏的壓力油轉變成熱能，事必造成泵殼同正常泵殼的溫度差別。如果泵內軸承疲勞磨損，軸承發熱并伴有雜音，熱量就在泵殼外表處顯現出來，以上二種發熱現象采用“紅外線電子測溫儀”檢測對比，有問題的泵殼表面溫度就會比正常工作的液壓泵殼溫度高。點檢人員應每4h小時用“電子測溫儀”檢測一次泵主軸外部、泵殼體中部、泵后蓋處等三處溫度并在泵溫升曲線表上標出溫度記錄，此溫度曲線表可與泵監測診數據表同時提供給技術人員，便于技術人員對泵做出正確的判斷。