ULVAC UTM3400A渦輪分子泵，采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過(guò)泵的本體和控制器一體化，實(shí)現(xiàn)了省配線，省空間。

特點(diǎn)

• 泵體和控制器一體化
  泵體和控制器之間不需要復(fù)雜的布線工作。

• 安裝方向自由
  安裝方向沒(méi)有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

• 產(chǎn)品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。

• 廣域大流量設(shè)計(jì)，適用于輕工藝
  泵速可以在25％至100％的范圍內(nèi)變化，腔室的壓力可以調(diào)節(jié)。

• 高耐久性和安全性
  已經(jīng)通過(guò)各種安全確認(rèn)測(cè)試，例如空氣沖擊測(cè)試和觸地測(cè)試。