瑞士INFICON的MPG400冷陰極和皮拉尼復(fù)合真空計(jì)有MPG400和MPG402個(gè)型號，測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓)。將兩種測量方式組合在一個(gè)具有對數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi)，***降低了安裝，設(shè)置和集成的復(fù)雜性。
MPG400冷陰極和皮拉尼復(fù)合真空計(jì)典型應(yīng)用：
■高真空壓強(qiáng)監(jiān)測
■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測量
■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍