廣州潽拓維修Ulvac UTM-3303FHA渦輪分子泵,Ulvac UTM-3303FHA 磁懸浮泵保養(yǎng)
ULVAC采用五軸磁浮軸承和數(shù)字控制的復(fù)合翼型渦輪分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用數(shù)字控制五軸磁浮軸承,實現(xiàn)了***、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點。FH系列是高背壓·高壓縮型,提高了氫壓縮比,用于輕·中間工藝,F(xiàn)W系列是廣域·大流量型,用于高負荷工藝和中間·硬工藝。
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