廣州潽拓快速維修Edwards STP-iXA 2206SBV真空渦輪分子泵
    發布者:putuovac  發布時間:2022-05-30 15:41:12  訪問次數:83


    STP-iXA2206SBV系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業內領先的性能,可將小型電源供給集成到機載控制器內(成熟的STP-iXA2205系列的新技術)。該泵的高度等于STP-A2203C的高度,也等于STP-iXA2205系列(不帶其電源供給(iPS-1200))的高度。這一完全集成的產品易于安裝且占地面積小,可作為所有應用工具的一體化解決方案。 

    用途 

    · 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物) 

    · 電子回旋共振(ECR)刻蝕 

    · 薄膜沉積CVDPECVDECRCVDMOCVD 

    · 濺射 

    · 離子注入源,射束線泵送和站 

    功能與優勢 

    · 緊湊型設計,包括完全集成的控制器 

    · 創新性自傳感軸承系統 

    · 數字化5軸控制 

    · 與現有渦輪泵相比振動級別降低了50% 

    · 可以配置為運行腐蝕性制程 

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