廣州潽拓光電科技有限公司為序Pfeiffer普發(fā)全系列分子泵，成功維修了用于真空設(shè)備上的普發(fā)TMH1001P分子泵，Pfeiffer普發(fā)TMH1001P分子泵維修,Pfeiffer TMH1001P普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200 ISO-K，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到920 L/s，轉(zhuǎn)速為26400 rpm -39600rpm，極限壓力1X10-8 mbar，對應(yīng)的控制器為：Pfeiffer TC600等。