INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標準真空計采用當今市場上的數字皮拉尼技術。 不銹鋼傳感器單元堅固耐用，結構設計緊湊，適用于半導體系統和標準應用，例如前級真空管。

益處

• 英福康B-A型真空計 INFICON BAG402:

  INFICON BAG402中真空至***真空真空計：

  INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402，測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在***、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。***的雙絲極結構提供更***的精度、長期穩定性 和長使用壽命。

  益處：

  • 測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）

  • ***可重復性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內為 5%

  • 過壓檢測保護，防止燈絲燒毀

  • 兩根長壽命氧化銥燈絲

  • 發射電流選擇，降低控制的繁瑣

  • 植入校準數據的傳感器元件可確保規管的***性，并且易于更換

  • 符合RoHS

  典型應用：

  • 半導體工藝和傳送腔室的壓強測量

  • 工業鍍膜

  • 從低真空到***真空范圍的普通真空測量及控制

  IKR251英福康冷陰極真空計  INFICON緊湊型冷陰極電離真空計，測量范圍2 x 10-9 至10-2mbar。  特點  無燈絲-冷電離  抵抗空氣涌入  耐腐蝕  運行狀態指示燈  倒置磁控管

   

  型號 密封		IKR251 FPM
  測量范圍		2 × 10E-9至10E-2 mabr
  精度（N2） 10E-8至10E-2 mbar		≈±30%讀數
  重復性		≈±5%讀數
  輸出信號		+1.8V至+8.5V
  電源電壓 功率		+15至+30Vdc ≤2 W
  電氣連接件		Pfeiffer 6腳
  工作溫度		+5至+55℃
  安裝方位		任何