I

英福康潘寧真空計、潘寧規 INFICON PEG100：

INFICON PEG100潘寧真空計、中真空至***真空真空計

INFICON 潘寧PEG100型真空計提供可靠的高真空測量。 ***的潘寧冷陰極傳感器不會出現燈絲燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低，真空計還可在濺射應用環境下運行。 現場總線選件，除了對數模擬輸出信號外，允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議將真空計輕松集成到真空系統中。

益處：

• 測量***，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）

• 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置

• ***電極幾何形狀提供***的點火屬性

• 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中

• 陽極環和鈦陰極可輕松進行清潔或更換

• ***小化真空計附近的磁場強度

• 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器

• 對數模擬輸出信號

• 現場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中

典型應用：

• 高真空壓力監控

• 蒸發濺射系統

• 高真空范圍內的一般真空測量和控制