性能參數(shù)： 抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) 8300/10000 l/min 500/600 m3/h 294/353 CFM 極限壓力(Ultimate Pressure) ≤7.5x10-4 Torr ≤1.0x10-3 mbar ≤1.0 Pa 水冷密封馬達(Canned Motor) 頻率 Frequency 50/60 Hz 電壓Voltage 220~440 V 額定功率Rated Power 4.0+4.0/2.98+2.98 HP/Kw 連接口(Connection) 進氣口 Inlet ISO100(bolted) 排氣口 Outlet NW40 冷卻水 Cooling Water 壓力 Pressure 2.0~4.0 kg/cm2 流量 Min. Flow 3L/min 15℃ 溫度 Temp. 7L/min 30℃ 接頭 Connection RC3/8" 氮氣 N2 壓力 Pressure 0.15~0.2 Mpa 稀釋流量 Dilute Flow 0~60 L/min 密封流量 Sealing Flow 0~20 L/min 接頭 Connection Swagelok 1/4" 尺寸 Dimension 長x寬x高 814x380x915 mm 重量 Weight 450 Kg 噪音 Noise <70 dB(A) 控制介面 Control SEMI E73-0299 系統(tǒng)最大漏率 System Max. Leak-rate 1.0/10-5 mbar.l/s 室溫操作范圍 Operation Temp. 5℃~40℃ 操作濕度 Operation Moisture 90%以下 性能曲線圖： 裝尺寸圖：

性能參數(shù)： 抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) 25000/30000 l/min 1500/1800 m3/h 883/1060 CFM 極限壓力(Ultimate Pressure) ≤7.5x10-4 Torr ≤1.0x10-3 mbar ≤1.0 Pa 水冷密封馬達(Canned Motor) 頻率 Frequency 50/60 Hz 電壓Voltage 220~440 V 額定功率Rated Power 6+6/4.47+4.47 HP/Kw 連接口(Connection) 進氣口 Inlet ISO160(bolted) 排氣口 Outlet NW40 冷卻水 Cooling Water 壓力 Pressure 2.0~4.0 kg/cm2 流量 Min. Flow 3L/min 15℃ 溫度 Temp. 7L/min 30℃ 接頭 Connection RC3/8" 氮氣 N2 壓力 Pressure 0.15~0.2 Mpa 稀釋流量 Dilute Flow 0~60 L/min 密封流量 Sealing Flow 0~20 L/min 接頭 Connection Swagelok 1/4" 尺寸 Dimension 長x寬x高 920x430x1030 mm 重量 Weight 545 Kg 噪音 Noise <70 dB(A) 控制介面 Control SEMI E73-0299 系統(tǒng)最大漏率 System Max. Leak-rate 1.0/10-5 mbar.l/s 室溫操作范圍 Operation Temp. 5℃~40℃ 操作濕度 Operation Moisture 90%以下 性能曲線圖： 裝尺寸圖：

性能參數(shù)： 抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) 2500/3000 l/min 150/180 m3/h 88/106 CFM 極限壓力(Ultimate Pressure) ≤7.5x10-3 Torr ≤1.0x10-2 mbar ≤1.0 Pa 水冷密封馬達(Canned Motor) 頻率 Frequency 50/60 Hz 電壓Voltage 220~440 V 額定功率Rated Power 6/4.47 HP/Kw 連接口(Connection) 進氣口 Inlet NW50 排氣口 Outlet NW40 冷卻水 Cooling Water 壓力 Pressure 2.0~4.0 kg/cm2 流量 Min. Flow 3L/min 15℃ 溫度 Temp. 7L/min 30℃ 接頭 Connection RC3/8" 氮氣 N2 壓力 Pressure 0.15~0.2 Mpa 稀釋流量 Dilute Flow 0~60 L/min 密封流量 Sealing Flow 0~20 L/min 接頭 Connection Swagelok 1/4" 尺寸 Dimension 長x寬x高 920x430x650 mm 重量 Weight 320 Kg 噪音 Noise <70 dB(A) 控制介面 Control SEMI E73-0299 系統(tǒng)最大漏率 System Max. Leak-rate 1.0/10-5 mbar.l/s 室溫操作范圍 Operation Temp. 5℃~40℃ 操作濕度 Operation Moisture 90%以下 性能曲線圖： 裝尺寸圖：

性能參數(shù)： 抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) 1300/1600 l/min 80/96 m3/h 47/57 CFM 極限壓力(Ultimate Pressure) ≤7.5x10-3 Torr ≤1.0x10-2 mbar ≤1.0 Pa 水冷密封馬達(Canned Motor) 頻率 Frequency 50/60 Hz 電壓Voltage 220~440 V 額定功率Rated Power 4/2.98 HP/Kw 連接口(Connection) 進氣口 Inlet NW50 排氣口 Outlet NW40 冷卻水 Cooling Water 壓力 Pressure 2.0~4.0 kg/cm2 流量 Min. Flow 3L/min 15℃ 溫度 Temp. 7L/min 30℃ 接頭 Connection RC3/8" 氮氣 N2 壓力 Pressure 0.15~0.2 Mpa 稀釋流量 Dilute Flow 0~60 L/min 密封流量 Sealing Flow 0~20 L/min 接頭 Connection Swagelok 1/4" 尺寸 Dimension 長x寬x高 814x380x663 mm 重量 Weight 280 Kg 噪音 Noise <68 dB(A) 控制介面 Control SEMI E73-0299 系統(tǒng)最大漏率 System Max. Leak-rate 1.0/10-5 mbar.l/s 室溫操作范圍 Operation Temp. 5℃~40℃ 操作濕度 Operation Moisture 90%以下 性能曲線圖： 裝尺寸圖：

性能參數(shù)： 抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) 2150/2600 l/min 130/156 m3/h 77/92 CFM 極限壓力(Ultimate Pressure) ≤7.5x10-3 Torr ≤1.0x10-2 mbar ≤1.0 Pa 水冷密封馬達(Canned Motor) 頻率 Frequency 50/60 Hz 電壓Voltage 220~440 V 額定功率Rated Power 6/4.47 HP/Kw 連接口(Connection) 進氣口 Inlet NW50 排氣口 Outlet NW40 冷卻水 Cooling Water 壓力 Pressure 2.0~4.0 kg/cm2 流量 Min. Flow 3L/min 15℃ 溫度 Temp. 7L/min 30℃ 接頭 Connection RC3/8" 氮氣 N2 壓力 Pressure 0.15~0.2 Mpa 稀釋流量 Dilute Flow 0~60 L/min 密封流量 Sealing Flow 0~20 L/min 接頭 Connection Swagelok 1/4" 尺寸 Dimension 長x寬x高 895x410x678 mm 重量 Weight 300 Kg 噪音 Noise <70 dB(A) 控制介面 Control SEMI E73-0299 系統(tǒng)最大漏率 System Max. Leak-rate 1.0/10-5 mbar.l/s 室溫操作范圍 Operation Temp. 5℃~40℃ 操作濕度 Operation Moisture 90%以下 性能曲線圖： 裝尺寸圖：