2020947-001 Fiber Optics Coupler cable
光纖耦合器連接線

Maxum I or II
Maxum I 或 II
第 5 章 備件目錄 5-7
Input and Output Boards
輸入和輸出板
2017519-802 8 Channel AO Board
8 通道 AO 板
Maxum I or II (s)
Maxum I 或 II
2017519-803 4 Each DO/DI Board
4 通道 DO/4 通道 DI 板
Maxum I or II (s)
Maxum I 或 II
2017519-804 2 Each AI/AO/DI/DO Board
2 通道 AI/2 通道 AO/2 通道 DI/2 通道 DO 板
Maxum I or II (s)
Maxum I 或 II
Electronic Pressure Control (EPC)
電子壓力控制器（ EPC）
2020165-001 EPC Module Complete with Manifold and Seals
完整的 EPC 模塊，包括流路基座以及密封件
Maxum I or II (s)
Maxum I 或 II
2015950-001 ^ Install package, EPC module, with gaskets
^ 安裝包， EPC 模塊，包括墊片
1291510-004
1291509-003
2020334-001 Restrictor, Hydrogen coil, 210 cc/min
螺旋形氫氣氣阻， 210cc/min
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2020334-002 Restrictor, Hydrogen coil, 420 cc/min
螺旋形氫氣氣阻， 420cc/min
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2020334-003 Restrictor, Hydrogen, 420 cc/min
氫氣氣阻， 420cc/min
Maxum I or II
Maxum I 或 II
Solenoid Valve Control Module (SVCM)
電磁閥控制模塊（ SVCM）
2015960-002 SVCM Controller Board, Ver. 2 (Electronics only)
SVCM 控制器板，版本 2（僅為電子部分）
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2020166-001 Solenoid Valve Control Module with o-rings (no electronics)
SVCM，包括 O 型密封圈（不含電子器件）
Maxum I or II
Maxum I 或 II
1672013-001 ^ Valve assembly
^ 閥組件
1531006-002 ^ O-ring, size 006, Buna-N
^ O 型密封圈， 006 型，順丁橡膠
1531006-003 ^ O-ring, size 008, Buna-N
^ O 型密封圈， 008 型，順丁橡膠
1672102-001 ^ SVCM short cable, solenoids to original SVCM ctrlr board
^ SVCM 短接線，電磁閥到老式 SVCM 控制板
SMC SOLENOID PARTS AND MAXUM II TUBING MANIFOLDS
SMC 公司的電磁閥產品和 Maxum II 的接管流路基座
2022021-001 Solenoid Valve Replacement Kit (SMC)
電磁閥替換套件（日本 SMC 公司）
Maxum I or II
Maxum I 或 II
1672100-001 ^ Valve, 4-way, with gasket and screws, SMC
5-8 第 5 章 備件目錄
^ 4 通閥，含墊片和螺絲， SMC
2021823-002 ^ Cable, PECM-2 to Solenoid Valve, 500 mm, SMC
^ 連接 PECM-2 和電磁閥的連接線， 500mm， SMC
1291009-060 ^ Fitting, Elbow, 1/8 Tx1/16 MP, push-in, (SVCM kit)
^ 組件，彎頭， 1/8Tx1/16MP，插入式（ SVCM 套件）
Maxum I or II
Maxum I 或 II
1672101-001 Gasket for mounting solenoid (SMC) to SVCM manifold
電磁閥（ SMC）與 SVCM 流路基座之間的密封墊片
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2022024-001 Solenoid Valve Tubing Manifold Replacement Kit, Maxum II
電磁閥接管流路基座替換套件， Maxum II
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2021185-001 ^ Manifold, tubing, SVCM #3
^ 接管流路基座， SVCM #3
2021184-001 ^ Manifold, tubing, SVCM #1 and #2, air bath
^ 接管流路基座， SVCM #1 and #2，空氣浴
2021152-001 ^ Bracket, tube support, SVCM #3
^ 支架，接管支架， SVCM #3
1312420-340 ^ Screw, M5 x 12, socket head cap, Stainless Steel
^ 螺絲，內六角， M5 x 12，不銹鋼
1312530-008 ^ Washer, M5, helical spring lock, Stainless Steel
^ 彈簧鎖緊墊圈， M5，不銹鋼
Maxum II
PARKER SOLENOID PARTS AND MAXUM I TUBING MANIFOLDS
PARKER 公司的電磁閥產品和 Maxum I 的氣路管道
2020149-001 Solenoid Valve Replacement Kit (Parker)
電磁閥替換套件（ Parker 公司）
Maxum I or II
Maxum I 或 II
 
1681011-018 ^ Wiring harness (SVCM kit)
^ 連接線（ SVCM 套件）
1532500-006 ^ Gasket, solenoid (SVCM kit) (Parker)
^ 電磁閥墊片（ SVCM 套件）（ Parker）
1672009-006 Valve gas Solenoid (Parker)
閥氣電磁閥（ Parker）
Maxum I or II
Maxum I 或 II
2020174-001 Solenoid Valve Tubing Manifold Replacement Kit, Maxum I
電磁閥氣路連管替換套件， Maxum I
Maxum I
2015964-001 ^ Manifold, tubing, SVCM #3
^ 接管流路基座， SVCM #3
2015959-001 ^ Manifold, tubing, SVCM #1 & #2
^ 接管流路基座， SVCM #1 & #2
2017772-001 ^ Bracket, tube support, SVCM #3
^ 支架，接管支持， SVCM #3

Maxum I
2015946-001 Gasket for SVCM tubing manifold; Maxum
SVCM 接管流路基座墊片； Maxum
Maxum I
OTHER RELATED CABLES, OVEN VALVES AND SOLENOIDS
其它相關連接，柱箱內的閥和電磁閥