高壓應(yīng)用對測量儀器極其重要，并且很難找到能夠承受應(yīng)變同時保持高響應(yīng)性的傳感器。我們公司的電子壓力儀器解決了這個問題。
      一些機械儀表，例如具有螺旋形（而不是C形管）波登管的機械儀表，  能夠承受高壓并且能夠提供精確的測量，特別是對于局部指示或作為冗余儀器。但是，對于數(shù)據(jù)捕獲和更好的控制，該過程需要電子壓力傳感器。
 

電子壓力測量背后的原理
電子壓力測量背后的工作原理
      在電子壓力傳感器中，柔性隔膜將過程與實際傳感器元件分開。壓力推動該隔膜，該隔膜設(shè)計成在整個壓力范圍內(nèi)以一致的方式偏轉(zhuǎn)。然后，傳感器通過將隔膜的應(yīng)變或壓縮轉(zhuǎn)換為有意義的電子信號來測量壓力。這是阻力測量的原理。
三種電子壓力傳感器
      選擇合適的電子傳感器對于獲得準(zhǔn)確可靠的測量至關(guān)重要。三種最常見的傳感器元件類型是金屬薄膜，陶瓷薄膜和壓電電阻。前兩種傳感器基于電阻壓力測量原理。第三種類型依賴于半導(dǎo)體材料的電阻率的變化。下表比較了這三種類型的一些功能。
 

用于高壓應(yīng)用的金屬薄膜傳感器
      在研究這三種電子傳感器的特性和功能時，很明顯只有金屬薄膜傳感器才適用于低密度聚乙烯（LDPE）和其他高壓，高振動應(yīng)用。
 

金屬薄膜傳感器的橫截面
      在金屬薄膜傳感器中，惠斯通電橋電阻器布置結(jié)合到電路層。然后將這兩層夾在絕緣層之間。壓力傳感器采用化學(xué)/物理工藝和光刻蝕刻技術(shù)在特殊潔凈室和真空或惰性氣氛下制造，而不是采用將傳感器粘合或焊接到隔膜上的常用方法。這導(dǎo)致與傳感器主體的良好結(jié)合，可承受極端溫度和振動。
      使用有限元法（FEM）模擬設(shè)計其金屬薄膜傳感器，以避免1）局部過載和相應(yīng)的塑性變形，以及2）膜片偏轉(zhuǎn)超出材料屈服點。為了確保它們不會在高壓操作下失效，我們公司將其傳感器通過一系列嚴(yán)格的測試，包括10 8次 負(fù)載循環(huán)疲勞測試。