離子束加工的原理和特點

    1)離子束加工原理

    離子束加工的原理與電子束加工基本類似.也是在真空條件下，將離子源產生的離子束經過加速后，撞擊在工件表面上，引起材料變形、破壞和分離。由于離子帶正電荷，其質量是電子的千萬倍，因此離子束加工主要靠高速離子束的微觀機械撞擊動能，而不是像電子束加工主要靠熱效應。

    惰性氣體氫氣由入口)主入電離室。灼熱的燈絲發射電子，電子在陽極的吸引和電磁線圈的偏轉作用下，向下高速作螺旋運動。氫在高速電子的撞擊下被電離成離子。陽極和陰極各有數百個上下位置對齊、直徑為0. 3mm的小孔，形成數百條較準直的離子束，均勻分布在直徑為50mm的圓面積上。通過調整加速電壓，可以得到不同速度的離子束，以實現不同的加工。

    (2)離子束加工的特點

    1>離子束轟擊工件的材料時，其束流密度和能量可以精確控制，因此可以實現毫微米0.001級的加工，是當代毫微米加工技術的基礎。

    2)離子束加工在真空中進行，污染少，特別適宜加工易氧化的金屬、合金和高純度的半導體材料。

    3)離子束加工的宏觀壓力小，因此加工應力小，熱變形小，加工表面質量非常高。