壓力傳感器無(wú)法避免的四個(gè)誤差
    發(fā)布者:hnnewsruipu  發(fā)布時(shí)間:2015-06-29 06:54:25  訪(fǎng)問(wèn)次數(shù):185


       壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號(hào),模擬信號(hào)是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號(hào)。 或在一段連續(xù)的時(shí)間間隔內(nèi),其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號(hào)。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的,這樣的傳感器也稱(chēng)為壓電傳感器。
        壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器液位計(jì)物位計(jì)物位變送器液位變送器電容式物位計(jì)電容式液位計(jì)電容式物位變送器電容式液位變送器物位開(kāi)關(guān)液位開(kāi)關(guān)電容液位計(jì)電容物位計(jì)液位儀表物位儀表電容液位變送器電容物位變送器射頻電容式液位開(kāi)關(guān)射頻電容式物位開(kāi)關(guān)電容式液位開(kāi)關(guān)電容式物位開(kāi)關(guān)音叉式液位開(kāi)關(guān)以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
        壓力傳感器我們?cè)谶x擇壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮他的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?或者說(shuō)什么原因會(huì)造成傳感器的誤差呢?其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。
        首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
        其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。
        第三是線(xiàn)性誤差:這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性,但對(duì)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn),也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
        最后是滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
        壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差,還可以在出廠(chǎng)的時(shí)候進(jìn)行反復(fù)多次的誤差校準(zhǔn),盡最大的可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。

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