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德國pfeiffer普發 TMH261渦輪泵加上TC 600控制器，形成一個完整的單元。這個系統需要空氣冷卻或水冷卻。TMH 261采用無磨損的永磁軸承在高真空側和油潤滑的陶瓷球軸承在真空側。TMH 261只能用于產生真空。如果過程產生灰塵，必須*定相應的維護間隔,如果用超過50%的允許氣體負荷操作泵，必須使用密封氣體
