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Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到1400 L/s，極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁懸浮分子泵對應(yīng)的控制器為：Alcatel ACT 1600M
