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Alcatel 5011法國阿爾卡特渦輪分子泵進氣法蘭口DN63 ISO-K,出氣法蘭口DN16KF,抽速可達到7.5L/s，極限壓力1x10-6 mbar，轉速為27000rpm，Alcatel 阿爾卡特5011CP渦輪分子泵對應的控制器為：Alcatel CFV100,Alcatel ACT100
