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普發分子泵維修 Pfeiffer TMH071P普發渦輪分子泵進氣法蘭口DN40 ISO-KF，出氣法蘭口DN16 ISO-KF ，抽速可達到33 L/s，轉速為90000rpm，對應的控制器為：Pfeiffer TC100,Pfeiffer TC600等。
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