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Agilent Turbo-V81-M安捷倫渦輪分子泵進氣法蘭口CFF4/ISO63，出氣法蘭口KF16，抽速可達到77 L/s ，轉速為80000rpm，極限壓力5X10-10 mbar (3.8X10-10 Torr)，Agilent Turbo-V81-M對應的控制器為：Agilent Turbo-V81-AG
