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日本島津TMP-203M/MC磁懸浮分子泵采用五軸控制磁性軸承系統(tǒng),無(wú)需使用油潤(rùn)滑,在運(yùn)轉(zhuǎn)過程當(dāng)中,無(wú)任何摩擦,是真正做到完全無(wú)油、免維護(hù)、***安裝的渦輪分子泵,Shimadzu TMP-203LM/LMC/TMP-203M/MC分子泵抽速可達(dá)到190L/s,轉(zhuǎn)速為50000rpm,對(duì)應(yīng)的控制器為:Shimadzu EI-D203M