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Shimadzu TMP-803M島津磁懸浮分子泵維修，Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC分子泵進氣法蘭口VG150/ICF203/ISO160B，出氣法蘭口KF40，抽速可達到800L/s，轉速為35000rpm，極限壓力1x10-11Torr(1.3x10-11 mbar)，Shimadzu TMP-803LM島津磁懸浮分子泵對應的控制器為：Shimadzu EI-D1003M
