Shimadzu TMP-203LM/LMC島津磁懸浮分子泵維修，日本島津TMP-203LM/LMC/TMP-203M/MC磁懸浮渦輪分子泵進氣法蘭口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出氣法蘭口KF25，抽速可達到190 L/s，轉速為50000 rpm，極限壓力1 x 10-10 Torr(1.3 x 10-10 mbar)，島津TMP-203M/MC磁懸浮分子泵對應的控制器為：Shimadzu EI-D203M

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