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愛發科高真空鍍膜機、蒸發臺 ULVACEvaporation Sy

愛發科高真空鍍膜機、蒸發臺 ULVACEvaporation Sy

產品價格：￥0（人民幣）

規格：ei-5系列

發貨地：上海

品牌：

最小起訂量：11

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上海瞻馳光電科技有限公司

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認證類型：企業認證

企業證件：通過認證

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商鋪名稱：上海瞻馳光電科技有限公司

聯系人：王曉玉（小姐）

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聯系地址：上海市松江區城隆路629弄3號522室

郵編：201619

聯系我時，請說是在線纜網上看到的，謝謝！

商品詳情

應用領域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device

設備特點：本設備是用于在半導體或特種材料基板上進行金屬、ITO等材料蒸鍍的批處理式高真空蒸發鍍膜設備。

可通過觸摸屏進行集中操作控制，自動完成從真空排氣至鍍膜的所有過程。適用于半導體、LED、電力電子等行業芯片的科研及小批量生產。

？可搭載多種蒸發源（EB，RH，EB＋RH　等）

？可搭載多種夾具，對應不同工藝（lift-off，planetary，satellite　等）

？可搭載多種基板；基板尺寸從2寸到6寸，材料為硅，玻璃等

？可通過　LCD　觸摸屏進行操作

？PC控制系統以及各種功能（工藝參數，記錄數據，維護保養）

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