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日本愛發科ULVAC干法刻蝕機Dry Etching

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產品價格：￥0（人民幣）

規格：ＮＥ

發貨地：上海

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上海瞻馳光電科技有限公司

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聯系地址：上海市松江區城隆路629弄3號522室

郵編：201619

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商品詳情

應用領域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device，LTCC

設備特點：

1、能夠生成均一性非常好的低壓力、高密度plasma

-搭載ISM（有磁場ICP）Plasma源。ULVAC專利。

2、為了保證再現性、穩定性使用了key技術

-STAR電極。ULVAC專利。

3、優秀的基板溫度控制

-并用了He導入的ESC式、machine　zipper式基板固定。

4、簡單且快速的維護-減輕了維護負荷的維護機構。

5、生產性、處理性能向上-300mm托盤，7層Cassette裝備。

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