產品概要
DCH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發的一款在極端環境下給樣品加載電學信號的設備。可以實現器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷,可以在防輻射屏內營造一個穩定的測試環境。在特殊材料,半導體器件等研究方向具有廣泛運用。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試:當晶圓加熱至300°℃,400°C.500”C甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

技術特點
防輻射屏和熱沉設計;
降溫速度快,常溫降至 77k<25mins,大大提高測試效率;
液氮自動控制系統,液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯動共同控制溫度。