勻膠機Laurell自動滴膠WS-650MZ-23NPPB\/UD3B
勻膠機Laurell自動滴膠WS-650MZ-23NPPB\/UD3B
產品價格:¥10.50(人民幣)
  • 規格:完善
  • 發貨地:湖北武漢
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1
  • 免費會員
    會員級別:試用會員
    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:武漢邁可諾科技有限公司

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    商品詳情
      產品參數
      勻膠機 Laurell 自動滴膠 WS-650MZ-23NPPB/UD3B 品牌Laurell
      是否支持加工定制
      是否進口
      操作方式智能程控
      轉速范圍0-12000rpm
      加速度范圍0-12000rpm
      工藝時間1-5999.9 sec/step
      存儲程序20條
      程序步驟51步
      轉速分辨率1rpm
      處理基片尺寸10-150mm
      腔體材質NPP聚丙烯
      可售賣地全國
      型號WS-650Mz-23NPPB

      1、?系統概述

      1.1 智能嵌鎖,系統蓋板具有智能嵌鎖裝置,確保操作安全;

      1.2 防腐裝置;

      1.3設有保護氣體裝置:旋涂過程中對旋轉馬達進行氣流保護;

      1.4 通信接口,藍牙連接;

      2、處理腔體

      2.1 處理腔體內徑不小于9.5英寸?(241毫米);

      2.2 Wafer芯片尺寸至少滿足10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,無需更換片托;

      2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質;

      3、?旋轉馬達

      3.1 轉動速度至少滿足0-12,000rpm;

      3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec;

      3.3 馬達旋涂轉速穩定性能誤差不超過±1;

      4、控制系統

      4.1工藝時間設定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ,精度不超過0.1s;

      4.2?配有高精度PLC可編程的控制器,設置點精度小于0.006;

      4.3 可存儲不少于20個程序段,每個程序段可設置不少于51個不同步驟的速度狀態;

      4.4 分辨率要小于0.5RPM,重復性誤差要小于±0.5RPM,具有國際NIST標準認證,并且無需再校準;

      5、配套泵浦

      5.1 配套真空泵系統:無油型?220~240伏交流,50/60赫茲;

      5.2 真空吸附范圍25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可調節,抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ;

      6、系統附件

      6.1 原裝進口水平測試儀;?

      6.2 兩袋密封圈;?

      6.3 配有兩套可更換的廢液接收單元;

      6.4 UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒;

      6.5 EBR晶圓去邊,機械裝置;

      邁可諾技術有限公司

      客服熱線:4008800298

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