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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Laurell | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 產品適用范圍 | 150mm | ||
| 電源 | 220V | ||
| 工作電壓 | 300V | ||
| 重量 | 15kg | ||
| 轉速 | 12000rpm | ||
| 轉速精度 | 1rpm | ||
| 基片尺寸 | 10-150mm | ||
| 腔體材質 | 聚丙烯 | ||
| 連接方式 | 藍牙 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | WS-650Mz-23NPPB | ||
勻膠機(英文名：Spin?Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜?
詳細介紹：勻膠機(英文名：Spin?Coater&?Spin?Processor)?
行業(yè)俗稱：勻膠臺、勻膠機、旋涂儀、涂膠機、鍍膜機、涂層機
一、產品概述：
????勻膠機WS-650Mz-23NPPB適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩(wěn)定的轉速和快速的啟動，可以 半導體中膠厚度的一致性和均勻性，這正是650S?型勻膠機的特點。二、勻膠機工作原理：
勻膠機WS-650Mz-23NPPB（spin?coater）的工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。三、勻膠機WS-650Mz-23NPPB主要性能指標：
1、腔體尺寸：9.5英寸?(241?毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，小于10mm提供3mm的轉接托盤）；
3、轉動速度：0-12,000rpm，?
4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec；
5、馬達旋涂轉速：穩(wěn)定性能誤差?<?±1；
6、轉速調節(jié)精度 lt;1rpm，重復性<?0.2rpm；
7、工藝時間設定：1-5999.9?sec/step?0.1?精度；
8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；
9 數碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006。
10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態(tài)；
11、分辨率：分辨率小于1轉/分，可重復性小于±1轉/分，美 準技術研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準！]
12、配套真空泵系統：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；
13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；
14 水平測試儀；??
可選配置：
IND構造為濕站系統設計，帶遠程控制；
OND構造為手套箱系統設計，帶遠程控制；
UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，
EBR(Edge?Bead?Remover)：晶圓去邊，機械裝置；
http://www.mycrohk.com/spinprocessor
