噴涂后的坩堝在專用烘箱內(nèi)部經(jīng)高溫烘烤后，內(nèi)壁高溫固化后的氮化硅涂層可有效防止長晶時坩堝內(nèi)壁與熔融硅料粘結(jié)，從而方便脫模，也可使坩堝得到重復(fù)利用，降低生產(chǎn)成本。

一、石英坩堝工藝潔凈烘烤箱特點：

1. 全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，可以達(dá)到和工作場同樣的地潔凈等級；

3. 不銹鋼外箱，美觀大方；

二、石英坩堝工藝潔凈烘烤箱技術(shù)參數(shù)： 

1． 送風(fēng)方式：強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)。

2． 溫度范圍：RT＋10℃～300℃。

3． 溫度波動：<±0.5℃。

4． 溫度均勻：±1.5% 。

    依測規(guī)范：測SENSOR置放點，離內(nèi)箱壁內(nèi)尺寸1/10處。

5．溫控裝置：日本富士P.I.D智能溫控儀表， LED數(shù)字顯示及設(shè)定、P.I.D自動演算、時間定時。

溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器。                    

測溫裝置：1支PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置，測溫精確。

定時裝置：HS48S-99.99定時儀表。

6．內(nèi)室材料：采用 1.0mm厚度SUS不銹鋼鋼板板金折彎加工，周身做氬弧焊滿焊，密閉，氮氣不泄露；外箱優(yōu)質(zhì)SUS不銹鋼數(shù)字加工而成，美觀大方 。

7．保溫材質(zhì)：硅酸鋁。

8．特質(zhì)復(fù)合式SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器。

9．保護(hù)裝置：超溫保護(hù)，欠相保護(hù),過載保護(hù)器，蜂鳴器，開門氮氣自動中斷保護(hù)。

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