PPB級超高純半導(dǎo)體防腐專用PFA ，應(yīng)用石英石晶 圓花籃，半導(dǎo)體清洗槽，半導(dǎo)體設(shè)備
超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級， 否則會污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能， 抵御各類強(qiáng)酸強(qiáng)堿，防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性，保證 研磨液/清洗液不會滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度， 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過硬劃傷晶圓
產(chǎn)品案例
8/12寸晶圓花籃由于強(qiáng)度 載重原因，部分無法使用 超高純注塑材料，改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料，但表面容易劃傷晶圓， 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時， 會造成晶圓劃傷，需要表 面進(jìn)行防護(hù)，同時材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運(yùn)臂

 純度：PPB級 
厚度：400-800μm 
耐酸：氫氟酸+硝酸 
硬度：4H