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(1) 定位精度高
使用TBI直線導軌作為線性導引時，由于TBI直線導軌的摩擦方式為滾動摩擦，不僅摩擦系數降低至滑動導引的1/50，動摩擦力與靜摩擦力的差距亦變得很小。因此當床臺運行時，不會有打滑的現象發生，可達到μm級的定位精度。
(2) 磨耗少能長時間維持精度
傳統的滑動導引，無可避免的會因油膜逆流作用造成平臺運動精度不良，且因運動時潤滑不充份，導致運行軌道接觸面的磨損，嚴重影響精度。而滾動導引的磨耗非常小，故機臺能長時間維持精度。
(3) 適用高速運動且大幅降低機臺所需驅動馬力
(4) 可同時承受上下左右方向的負荷
(5) 組裝容易并具互換性
(6) 潤滑構造簡單
