1.分辨率：

加速電壓15kv

工作距離＝4.0mm  ……………………………1.0nm             

加速電壓1kv

工作距離＝1.5mm  ………………………… 2.0nm

2.倍率：

高倍率模式  ………………………………… 100×到800,000×

低倍率模式  ………………………………… 30×到2,000×

3.電子光軸：

（1）電子槍…………………………………冷陰極場放射式

（2）引出電壓（vext）……………………0到6.5kv

（3）加速電壓（vacc）……………………0.5kv到30kv（100v/階段）

（4）鏡體……………………………………3-鏡臺電子磁控式鏡體，逐級收束式

（5）物鏡孔片………………………………可移動式孔片（4個開孔可選擇/鏡體外可調式）

（6）像散修正線圖

（像散修正器）………………………電子磁控式

（7）掃描線圈………………………………2-鏡臺電磁-偏向式

4.樣品臺

5.顯示單元

（1）顯示類型……………無閃爍計算機屏幕（全掃描速度時）

（2）顯示器………………18.1”lcd（21”彩色 crt：可選）

（1280×1024畫素）

（3）照片crt（附加）…超高分辨率類型

（有效觀察區域為：120×90mm）

（4）掃描模式……………普通掃描

縮小區域范圍

線掃描

點分析

平均濃度分析

分離/雙 倍率畫面

（5）掃描速度……………tv  （640×480畫素：25/30圖框/秒）

fast（全屏幕顯示：25/30圖框/秒）

slow（全屏幕顯示：

1/0.9,4/3.3,20/16,40/32,80/64秒/圖框）

（640×480畫素顯示：

0.5/0.4,2/1.7,10/8,20/16,40/32秒/圖框）

for photograph（2560×1920畫素顯示

40/32,80/64,160/128,320/256秒/圖框）

value of（50hz）/（60hz）

tv：nisc或pal信號制式

（6）信號處理模式……………… 自動亮度調節

gamma調節

自動聚焦

自動像散調整

（7）自動數據顯示………………圖像編號，加速電壓，放大倍率

比例尺，比例尺寸數值，日期/時間和

工作距離，均可在照片上打印出來

（8）數據輸入……………………通過鍵盤可將字母，數字和一些標記標示到影像上

（9）電子的影像移動…………………±12μm（工作距離=8mm）

6.真空系統

（1）系統的類型…………………全自動氣動閥門系統

（2）最佳真空度…………………樣品室(sc):2×10e-4pa

電子槍室  :

     ip-1：2×10e-7pa 或更佳

ip-2：2×10e-6pa或更佳

ip-3：5×10e-5pa或更佳

（3）真空泵………………………電子光學系統：3個ion離子泵浦

樣品室（sc）：渦輪式分子泵浦

使用者可自行提供油旋轉泵浦

（4）壓縮機………………………使用者可自行提供少油或無油型壓縮機

7.保護裝置

警告裝置……………………電源不良，冷卻水中斷，真空度不足

8.選配裝置

（1）變壓器

（2）冷卻循環水槽

（3）空氣壓縮機

（4）ups不間斷電源

（5）牛津eds，液氮型探頭，接受面積30mm2

（6）鍍金機e-104 + 鍍碳機

（7）減速模式，降低對樣品傷害，提高分辨率

（8）cd measurement測量軟件

（9）hi-mouse軟件