高效空氣過濾器主要用于捕集0.5um以下的顆粒灰塵及各種懸浮物，作為各種過濾系統的末端過濾。采用超細玻璃纖維紙作濾料，膠板紙、鋁箔板等材料折迭作分割板，新型聚氨酯密封膠密封，并以鍍鋅板、不銹鋼板、鋁合金型材為外框制成。另外還有三種高效過濾器，一種是超高效過濾器，能做得到凈化99.9995。一種是抗菌型無隔板高效空氣過濾器，具有抗菌作用，阻止細菌進入潔凈車間，一種是亞高效過濾器，價格便宜以前多用于要求不高的凈化空間。高效和超高效過濾器均用于潔凈室末端，以其結構形式可分為有：有隔板高效過濾器、無隔板高效過濾器、大風量高效過濾器,超高效過濾器等。