產(chǎn)品特點
1.該設(shè)備生長溫度更低
2.使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，沉積速率快
3.設(shè)備輝光均勻等效，均勻生長，成膜質(zhì)量好
4.支持外部真空規(guī)和壓力變送器
5.支持智能進(jìn)氣，根據(jù)需要設(shè)定不同的溫度，自動進(jìn)氣，進(jìn)氣定時間到后自動停止進(jìn)氣
6.支持云端數(shù)據(jù)存儲，隨時查看數(shù)據(jù)
7.支持爐膛移動速度調(diào)節(jié)
8.支持射頻電源根據(jù)外部工況條件自動啟動停止
9.支持壓力恒定，壓力可以設(shè)定
10.支持超壓保護(hù)，大壓力值可以設(shè)定，超過后系統(tǒng)自動進(jìn)入保護(hù)