pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀：
用于掃描探針顯微鏡的動態納米定位器


用于 AFM / SPM 的超高性能閉環掃描儀
用于生物/納米技術的緊湊型操作工具
共振頻率 9.8 kHz 用于特別快速的掃描
自動補償導向誤差的平行測量技術
分辨率 50 皮米
行程 5 μm × 5 μm × 5 μm


pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀
應用領域
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描篩選
零間隙撓性導軌實現高導向精度
撓性導軌免維護、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不。它們 真空兼容，可在很寬的溫度范圍內工作。


由于平行位置測量，在納米范圍內具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據一個單一的固定參考來測量的。軸之間不需要的串擾可以實時（取決于帶寬）主動補償（主動引導）。即使在動態操作中，也能在納米范圍內實現高跟蹤精度。

具有電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證出色的運動線性度、長期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。

自動配置和快速組件更換
機械和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械裝置 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。
pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀