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半導體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型(結型、MOSFET型、電容型)。電阻型氣敏器件的原理是氣體分子引起敏感材料電阻的變;非電阻型氣敏器件主要有M()s二極管和結型二極管以及場效應管(M()SFET),它利用了敏感氣體會改變MOSFET開啟電壓的原理,其原理結構與ISFET離子敏傳感器件相同。
固體電解質是一種具有與電解質水溶液相同的離子導電特性的固態物質,當用作氣體傳感器時,它是一種電池。它無需使氣體經過透氣膜溶于電解液中,可以避免溶液蒸發和電極消耗等問題。由于這種傳感器電導率高,靈敏度和選擇性好,幾乎在石、環保、礦業、食品等各個領域都得到了廣泛的應用,其重要性僅次子金屬—氧物一半導體氣體傳感器。
ZrO2加入穩定劑后在l800℃氣氛下燒結,其中一部分鋯離子就會被鈣離子替,生成(ZrO·CaO)。由于Ca2+是正二價離子,Zr4+是正四價離子,為繼續保持電中性,會在晶體內產生氧離子O2-空穴,這是(ZrO·CaO)在高溫下傳遞氧離子的原因,結果是(ZrO·CaO)在300~800℃成為氧離子的導體。但要真正能夠傳遞氧離子還必須在固體電解質兩邊有不同的氧分壓(氧位差),形成所渭的濃差電池。其結構原理如圖所示,兩邊是多孔的電極,與中間致密的ZrO·CaO材料制成夾層結構。