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SnO2薄膜氣敏元件具有良好的穩(wěn)定性、能在低溫下工作、檢測氣體種類多、工藝成熟等優(yōu)點(diǎn)，是目前的主流產(chǎn)品。 另外，F(xiàn)e2O3也是目前廣泛應(yīng)用研究的材料。 除傳統(tǒng)的SnO、SnO2和Fe2O3三種材料外，目前還在研究開發(fā)包括單一金屬氧物材料、復(fù)合金屬氧物材料、混合金屬氧物材料在內(nèi)的新材料。這些新型材料的研究和開發(fā)，大大提高了氣體傳感器的特性和應(yīng)用范圍。
當(dāng)加負(fù)性偏壓時，載流子基礎(chǔ)沒有轉(zhuǎn)變，它是肖特基二極管的整流器特點(diǎn)。在檢驗(yàn)氛圍中，因?yàn)閷﹄睔獾奈拦πВF重金屬的功涵數(shù)更改，觸碰勢壘變?nèi)酰斐奢d流子增加，順向電流量提升，二極管的整流器特點(diǎn)曲線圖會產(chǎn)生左移。下面的圖下圖為Pd—TiO2氣敏二極管在不一樣濃度值H2的氣體中的特點(diǎn)曲線圖。因而，根據(jù)精確測量二極管的順向電流量能夠 檢測氫氣濃度。
1.當(dāng)氫濃度較低時，氫敏莫氏體的靈敏度很高，氫濃度變?yōu)?ppm，ut值可以達(dá)到10mv。當(dāng)氫濃度較高時，傳感器的靈敏度會降低。2.氣體選擇性中pd原子間的間隙可以使氫原子通過，因此鈀網(wǎng)格只允許氫通過。3.溫度和氫濃度影響器件的響應(yīng)時間。溫度越高，氫氣濃度越高，響應(yīng)越快，常溫下的響應(yīng)時間為幾十秒。
