催化燃燒凈化法與直接燃燒凈化法一樣，均屬于熱力破壞法，其機理都是氧化和熱裂解、熱分解廢氣中的有機成分，分解為無傷害的水等。但但對處理高濃度的有機廢氣，通常認為催化分解是最理想的方法。其原因是催化燃燒的溫度要比熱焚燒的溫度低得多，而且效率高、能耗低、壓降小、所需設備體積小、造價低，不產生氮氧化物。

催化原理；
   催化劑定義  催化劑是一種能提高化學反應速率，控制反應方向，在反應前后本身的化學性質不發生改變的物質。
  催化作用機理  在一個化學反應過程中，催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，所改變的僅是化學反應的速度，而在反應前后，催化劑本身的性質并不發生變化。催化劑本身參加了反應，正是由于它的參加，使反應改變了原有的途徑，使反應的活化能降低，從而加速了反應速度。
催化系統裝置組成；
   催化燃燒的工藝組成不同的排放場合和不同的廢氣，有不同的工藝流程，不論采取哪種工藝流程，都由如下工藝單元組成。
  預熱裝置  預熱裝置包括廢氣預熱裝置和催化劑燃燒器預熱裝置。因為催化劑都有一個催化活性溫度，對催化燃燒來說稱催化劑起燃溫度，必須使廢氣和床層的溫度達到起燃溫度才能進行催化燃燒，必須設置預熱裝置。但對于排出的廢氣本身溫度就較高的場合，如漆包線、絕緣材料、烤漆等烘干排氣，溫度可達300℃以上，則不必設置預熱裝置。
   廢氣預處理  為了避免催化劑床層的堵塞等，廢氣在進入床層之前必須進行預處理，以除去廢氣中的粉塵等。