利用激發光源發出的特征發射光照射一定濃度的待測元素的原子蒸氣，使之產生原子熒光，在一定條件下，熒光強度與被測溶液中待測元素的濃度關系遵循Lambert-Beer定律，通過測定熒光的強度即可求出待測樣品中該元素的含量。原子熒光光譜法具有原子吸收和原子發射兩種分析方法的優勢，并且克服了這兩種方法在某些地方的不足。該法的優點是靈敏度高，目前已有20多種元素的檢出限優于原子吸收光譜法和原子發射光譜法；譜線簡單；在低濃度時校準曲線的線性范圍寬達3~5個數量級，特別是用激光做激發光源時更佳，但其存在熒光淬滅效應，散射光干擾等問題。