典型電廠鍋爐煙氣處理流程是脫硝在前脫硫在后，脫硝后需要檢測如NO、NO2（通稱NOX，氮氧化物）、O2及NH3等；而脫硫前需要檢測SOSO3；OCO2；粉塵等。按照常規的做法就是在脫硝出口安裝一套CEMS，除塵器后進脫硫塔前安裝一套CEMS，這樣做的好處是煙氣采樣數據上傳時間短，容易實現脫硝的自動控制。以尿素法、LIFAC工藝等半干法脫硫脫氮系統為例，其工藝是把堿性物質(石灰石、氫氧化鈉、碳酸氫鈉等等)的溶液或尿素溶液噴入爐膛、煙道或噴霧洗滌塔內進行脫硫脫氮。