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| 流量范圍（N2轉換20°C / 1ATM） | 50SCCM~5SLM | 5SLM超~20 SLM | |
|---|---|---|---|
| 可以氣體（干燥氣體） | N2，Air，O2，CO2，Ar，H2，He等 | ||
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方法（* 1） | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | ||
| 控制測量范圍 | 2.100％F.S. | ||
| 響應速度（* 2） |
0→10%F.S.以下 4秒以內 0→10%F.S.以上 2秒以內 |
||
| 精度（* 3） | ±1.0％F.S. | ±1.5％F.S. | |
| 溫度系數 | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | ||
| 重現性 | ±0.75%F.S. | ||
| 耐壓 | 1000kPa（G） | ||
| 可工作壓力 | 500kPa（G）以下 | ||
| 工作壓差（* 1） | 50~300kPa（G） | 100~300kPa（G） | |
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | ||
| He泄漏率（* 4） | 1 x 10-8 Pa.m3/sec以下 | ||
| 流量設定方法 | 數字 | ①設定顯示器 ②通信 ③活動輸入切換 | |
| 模擬信號（* 7） | ①0.5V ②4~20 mA（任意切換） | ||
| 流量輸出信號 | ①0.5V ②4~20 mA（上述與連動） | ||
| 顯示器 | 顯示方法 | 7段LED 4位數 |
|---|---|---|
| 累計流量（* 5） | 12位數 | |
| 安裝方向 | 可以變更 | |
| 一體/分離 | 一體/分離1m /分離3m/分離5m | |
| 狀態表示LED |
OK（允許范圍內）/ ALM（警報輸出相關聯） OUT1（鏈接到活動輸出1）/ OUT2（鏈接到活動輸出2） SV（設定流量）/ PV（即時流量）/ TF（累計流量） IF（模式設定） |
|
| 其他輸入/輸出功能 | 活動輸入 | 3×觸點輸入 |
| 警報輸出 | 1 ×開路集電極輸出 MAX35 V：50 mA | |
| 活動輸出 | 2 ×開路集電極輸出 MAX35 V：50 mA | |
| 通訊 | RS485 半雙工 9600bps | |
| 所需電源 |
24 VDC±10％（5％波動） 消耗電流300mA以下 |
|
| 安裝姿勢 | 未 | |
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，FKM，PTFE，氯丁橡膠（可選） | |
| 接頭（* 6） | 1/4 F 900（9/16-18 UNF），Rc 1/4,1/4 UJR | |
| 重量（* 7） |
一體型：約1000g， 分離型（不包括分離電纜）：約1200克 |
|
（* 1）適用于質量流量控制器類型。
（* 2）從完全關閉狀態到控制流量±2％FS到達時間。
（* 3）標準壓力（200kPA(G)）、標準溫度（20°C）情況下。
（* 4）不含滲透。 長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 5）單位隨滿量程流量變化。 示例：1SLM的情況時，最多可以累計到9999 9999 9.999L
（* 6）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 7）接續接頭會有少許變動。
使用MODEL D8500的通信系統的結構示例一臺Logging PC最多可記錄和操作31臺設備。
（安裝了通信終端電阻。
可開/關）
