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1、平晶干涉法:用光學平晶的工作面體現理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面,如量規的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
該測量儀適用于對任何平面物體進行平面度測量。其原理是以測量儀為中心的一個平面上平均分布3個測量點,測量時,傳感器從3個測量點測量出高度位移差,經微型計算機采集并處理,使其顯示在顯示屏上,從而得知這3個點所處的位置的平面度。