光譜共焦位移傳感器的同軸共焦原理可以保證即使被測物存在傾斜或曲翹，也可以進(jìn)行高精度的測量，測量點(diǎn)不會改變。而傳統(tǒng)的三角測距法，隨著高度的不同，測量位置或者光斑大小會發(fā)生改變。

透明體的平整度和厚度可以同時(shí)測量。以往玻璃、薄膜行業(yè)測量厚度都是用卡尺人工抽樣檢測，如果是較大的基板就無法任意檢測各個(gè)位置，并且用卡尺測受人為影響非常嚴(yán)重。非接觸式光學(xué)測量，可以在線測量大尺寸玻璃或薄膜的厚度和平整度。

光譜共焦位移傳感器典型應(yīng)用：

微位移振動測量 壓電驅(qū)動器微位移振動測量，磁致伸縮位移，生物力學(xué)形變

精確定位 LAMOST光纖定位，平面的定位等

旋轉(zhuǎn)體跳動測量 機(jī)床主軸跳動 球面鏡旋轉(zhuǎn)跳動等

透明體厚度測量 玻璃厚度，透鏡厚度，膜厚，水膜厚度等

輪廓/3D形貌測量透鏡輪廓掃描，磨損量測量，3D形貌掃描等

厚膜電阻檢測的應(yīng)用:

厚膜電阻在濕潤狀態(tài)下，采用光譜共焦位移傳感器進(jìn)行非接觸式檢測，線速度可達(dá)12mm/s，在自動化生產(chǎn)中應(yīng)用可以極大提高效率。

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