.jpg "JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S")
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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 機械手臂 | ||
| 軸數 | 3軸 | ||
| 英文名 | wafer robot | ||
| 產地 | 中國 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 機械手臂標準臂長 | 90mm | ||
| 晶圓固定方式 | 真空吸附式，下托式 | ||
| 使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 | ||
| 手臂 | 單臂 | ||
| 到達距離 | 175mm | ||
| 升降軸最大行程 | 150mm | ||
| 可搬運質量 | 0.1kg | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 類型 | 圓柱坐標型 | ||
| 型號 | SSCR3090S | ||
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JEL SSCR3090S小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂特點：
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S系列
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優化機械手臂的空間尺寸，
有利于實現設備的小型化
機械手臂標準臂長：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機械手臂
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸使用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供最優的手指
小徑晶圓用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SSCR3090S基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境
手臂 單臂
到達距離 175mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸最大行程 150mm
可搬運質量 0.1kg (只包含被搬運物體)(手臂第3關節處基準)
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